Merek: AmatDeskripsi: Modul Antarmuka KamarKondisi: Merek baruSertifikat: Surat Garansi Laporan Tes COOGaransi: 1 tahunInventarisasi Qty: 3Istilah pembayaran: T/T.Port Pengiriman: ShenzhenAMAT 0100-35054 adalah modul antarmuka ruang yang memantau status operasi peralatan secara real time untuk memastikan bahwa ruang proses plasma secara otomatis memicu mekanisme interlock keselamatan dalam kondisi abnormal.
| Pembuatan |
Sangat |
| Nomor Model |
0100-35054 |
| Negara asal |
Amerika Serikat |
| Kode HS |
85389000 |
| Dimensi |
25*10*2cm |
| Dimensi pengemasan |
27*12*4cm |
| Berat |
0.8kg |
Parameter teknis
Jenis Antarmuka: Kompatibel Bus VME, mendukung transmisi data paralel 16-bit.
Tegangan Operasi: 24V DC ± 5%, beban arus maksimum 2A.
Suhu operasi: -10 ° C hingga 70 ° C.
Level Perlindungan: IP20.
Waktu respons sinyal: ≤5ms, memastikan pemicu cepat interlock
Fitur fungsional
1.PERNIMAN PERLINDUNGAN KESELAMATAN:
AMAT 0100-35054 mengintegrasikan beberapa saluran input sensor, yang dapat secara sinkron memantau tekanan ruang, aliran gas dan parameter suhu. Setelah nilai kelebihan batas terdeteksi, catu daya segera terputus dan sumber bahaya diisolasi untuk memastikan keamanan peralatan dan operator
2. Optimalisasi Kompatibilitas Sistem:
0100-35054 kompatibel dengan sistem kontrol AMAT endura, Centura dan serangkaian deposisi uap fisik (PVD) dan peralatan uap kimia (CVD) lainnya, mendukung konfigurasi plug-and-play tanpa perlu pengemudi tambahan
3. Stabilitas dan anti-interferensi yang tinggi:
AMAT 0100-35054 mengadopsi desain sirkuit yang berlebihan dan pelapisan pelindung elektromagnetik, yang dapat mempertahankan nol alarm palsu dari transmisi sinyal dalam lingkungan RF tegangan tinggi (seperti etsa ICP), dan laju kegagalan kurang dari 0,01%.
4.Mainainability dan fungsi diagnostik:
Indikator Status LED Onboard dan Antarmuka Diagnostik Dukungan Pembacaan Kode Kesalahan Jarak Jauh. Personel pemeliharaan dapat dengan cepat menemukan bagian masalah melalui perangkat lunak khusus AMAT (seperti Applied Producer®) untuk mempersingkat waktu henti
Skenario Aplikasi
Proses etsa plasma:
Dalam rasio aspek tinggi etsa memori NAND 3D, pemantauan tekanan ruang waktu nyata dilakukan untuk mencegah pelepasan busur yang disebabkan oleh akumulasi produk sampingan
Deposisi Film Metal:
Untuk proses interkoneksi tembaga (seperti Endura Alps PVD), kebocoran gas terdeteksi selama sputtering untuk menghindari kontaminasi film
Proses Pembersihan Kamar:
Selama siklus pemeliharaan peralatan CVD, start otomatis dan berhenti pembersihan plasma NF₃ dipicu untuk memastikan bahwa residu benar -benar dilepas
